分压力真空计
随着近代真空丈量技术及科学技术的发展，
前面介绍的真空计都是用来丈量真空系统总压力的并不知道其中的气体成分及各气体成分所占的分压力。对分压力的丈量越来越重要，即能较**地测出混合气体的组成以及各组成成分的分压力。总压力可以说是真空的数量方面，而分压力既反映了数量方面，更重要的动平衡仪反映真空的质量方面。某些情况下，确定各成分的分压力是非常必要的例如在许多电子管、电子束管中，极少量的硫、氯就造成氧化物阴极的严重中毒。为了研究真空中的各种过程如吸气、放气、阴极激活、中毒、泄漏现象等，对各种气体成分的分析已成为必不可少的手段。
此外，超高真空下气体的成分经常极不相同，如果以干燥空气或氮气的规范曲线来读取压力，就会造成很大的误差。如果能用一分压力计将各成分的分压力测出，根据道尔顿定量，这些分压力相加之和就是系统的总压力。
目前的分压力真空计大多由于精密不够，一般只用于振动分析仪分析气体的成分以及各种成分所占比例，这种丈量分析仪器通常被称为质谱计。一般的质谱计不能直接丈量各种气体的分压力，而必需对质谱仪先进行各种气体成分的相对灵敏度，再丈量出各气体成分的离子流数值，列出一系列线性方程，通过复杂的计算，或借助于电子计算机求出各种气体成分的分压力。
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