涡轮分子泵的概述
泵的转速为10000~50000r/min该泵主要用作高真空泵和超高真空泵，
涡轮分子泵是靠高速转动的振动分析仪转子携带气体分子获得超高真空的一种机械真空泵。该泵的工作压力范围为1~10-8Pa抽气速率一般在500L/s以下。但不能直接对大气排气，需要配置前级泵。泵的主要性能与配置的前级泵的容量、泵的转速、被抽气体的种类有关。分子泵对较轻的气体抽速较大，对氢的抽速比空气的抽速大20%
涡轮分子泵与其他高真空泵和超高真空泵相比较具有以下优点。
1极限压力低，先进的泵可以获得10-9Pa极限压力。
2工作压力范围宽，九个数量级的压力范围内具有稳定的抽速。
3结构紧凑，由置于泵体内的中频电机直接驱动，涡轮转子未整体式结构。
4一种少油泵，既不像其他机测振仪械泵那样由油作工作液，也不用油来密封，只是其转子仍然用油来润滑，可能有少量润滑油会进入被抽系统，
5泵的振动小、噪声低、工作平稳、启动时间短，一般在4~15min内能达到满抽速。
6对大分子量的气体有较高的压缩比，且中频电机置于前级空间，能获得清洁的高真空和超高真空，另外利用对氦压缩比低的特点，可在逆扩散型的氦质谱检漏仪中做主泵使用。
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