氦质谱检漏仪时元器件细检漏的主要仪器设备，超声波检漏仪目前市面上出售的品种非常多。有国产的，也有进口的；有便携的，也有台式的；有专用的，也有通用的。用户在选购时要根据自己的需要综合考虑。
早期的氦质谱检漏仪属纯粹的正常检漏型，后来又发展处逆扩散检漏型。近些年，国外检漏仪改进了分子泵的架构。装备复合型分子泵的检漏仪，不但将正常和逆扩散型的功能合二为一了，超声波检漏仪而且对外接工件真空度可以放宽到约1000pa。这种仪器的真空系统。检漏口的工件可以通过三条通路与分子泵、质谱室相连。当外接工件真空度很好时，超声波检漏仪TV1阀打开相当于正常型检漏。外接工作真空度不好，可以分别打开TV1或能改进，即便是逆扩散检漏，仪器灵敏度也还是较高的。
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