检漏过程：超声波检漏仪先将被检件与真空系统抽至10（-1）~10（-3）Pa，加液氮然后接通加热器，使钯栏加热到700~800℃，关闭阀门3.用氢气喷吹被检件可以部位，当氢气喷吹到漏孔上时，氢气变通过漏孔进入真空系统，并通过钯栏进入电离计规管，此时电离计便只是处压力升高。注意喷吹应该是自上而下地进行，以免出现虚假信号。停止喷吹后，打开阀门进行抽气，于是进入规管的氢气有通过钯栏被抽走，直到排完为止。然后关闭阀门3和4，更换被检两件，在打开阀门3将新的被检零件抽到工作压力，打开阀门4，并关上阀门3，就又可以进行检漏了。
另外，氢气源是用来监视钯栏在加热状态下通过氢气的能力的。超声波检漏仪这个源可以用钨丝做成，钨丝加热后便放出氢气。
必须注意的是，超声波检漏仪电离规管内的静态真空度要保持在10（-5）Pa范围内，以提高灵敏度。一般这种方法的*小可检子啊10（-4）~10（-8）Pa*L/S。使用氢气时，要特别注意**。
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