目前质谱检漏多数采用以低压高速蒸汽流作为工作介质（油）的气体动量传输泵------油扩散泵。超声波检漏仪它是氦质谱检漏仪获得高真空的主要设备，其主要特点是抽气能力大，抽速范围宽，对所抽气体（包括惰性气体）无选择性，结构简单，超声波检漏仪没有机械运动，操作简单，便于维护，寿命长，因扩散泵油的冷却方式不同，可分两种型式，即风冷与水冷，在氦质谱检仪中多数使用“风冷式油扩散泵”。油扩散泵使用时还必须配前置真空泵。
油扩散泵的工作工程师当油锅的泵油在真空中被加热到沸腾温度（约200摄氏度）时，产生大量地油蒸汽，经导管由各级喷嘴定向高速喷出。由于进气口的附近（和**喷嘴上方）被谁抽气体的分压力，超声波检漏仪所以，被抽气体分子就不断地扩散到蒸汽流中，这时被抽气体分子就不断地扩散到蒸汽流中，这时被抽气体接近蒸汽流动速度被带向泵壁上被冷凝后又返回到油锅中被重新加热，如此循环工作。
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