*新的质谱检漏仪基于高速低压蒸汽作为工作介质(油)气动量输送泵,油扩散泵。超声波检漏仪的主要观点是氦质谱检漏仪对高真空设备,其主要特点是提取能力大、宽调速范围和烟气(包括惰性气体)没有选择性,结构简单,无机械运动部件,操作简单,维修方便,使用寿命长,由于扩散泵油冷却方式不同,可分为两种形式,即空气冷却和水冷却,大多数用于氦质谱检测器风冷油扩散泵。超声波检漏仪油扩散泵必须匹配前面当使用真空泵
油扩散泵的工作过程是在真空泵油在锅里油加热到沸腾温度(200℃),产生大量的石油蒸汽导管的各种定向高速喷嘴。
由于扩散泵的工作原理工作必须20 ~ 45分钟,停止冷却20 ~ 45分钟,超声波检漏仪它带来了很多麻烦的泄漏检测工作。现在用涡轮分子泵代替一般扩散泵的氦质谱检漏仪,其优点是:
1在质谱仪室无碳氢化合物污染
2减少仪器启动和通知的时间
3,因为涡轮分子泵相同的压缩比,氦是可以获得稳定的泄漏率
4可以安装在任何位置,因此可以用在一个节省空间的装置
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