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源自美国**科技的KM超声波检漏仪原理--被检容器大小与检漏有关么?


被检容器容积较小时,可以直接接到质谱检漏仪上去进行检漏,超声波检漏仪但是当被检容器在100m以上,由于容积大,气量多,表面积大,放气多,漏孔也可能较多,若直接用质谱检漏仪的抽气系统来抽,超声波检漏仪可能长时间也抽不上去,使得检漏仪无法工作。即使长时间抽气后能达到质谱仪工作压力,然而其反应时间太长,也难以实现检漏。因此需要加一个铺助系统,检漏时,先用辅助泵将被检容器抽到低真空后再次机泵(扩散泵)抽,次级泵正常工作后,打开检漏仪的节流阀,使被检容器通过铺助系统与已抽至极限真空的检漏仪相连,此时检漏仪抽气系统与辅助泵一起做次级泵的前级,超声波检漏仪调节节流阀使检漏仪处于工作压力下,然后进行检漏。检漏时,如节流阀能全部打开且辅助阀都全部关闭*好,此时漏入系统的氦气能全部通过检漏仪,其灵敏度*高,一般情况都是辅助阀即不能全关,节流阀又不能完全打开,因此灵敏度要低很多
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