系统的真空度有关。真空度越高，这种方法的灵敏度除了与所用的示漏物质有关外。超声波检漏仪灵敏度也越高。这种方法是利用系统上现有的真空规来进行检漏的非常方便，目前真空系统在调试、运行过程中广泛采用的一种检漏方法。
打开相应的真空计进行真空丈量。当用示漏物质喷射或涂覆于容器外壁可疑漏气部位时，超声波检漏仪当真空系统抽到一定的真空度后。示漏物质就会通过漏孔进入真空系统中。由于规管对各种气体的灵敏度不一样，超声波检漏仪而所选的示漏物质与系统中剩余气体/空气相比，其灵敏度相差很大，所以真空计的指示就会发生明显的变化，因而就指示了漏孔的寻在和漏孔的位置。一般说来，喷吹示漏物质比涂覆方法好，以免器壁外表面的污染物堵塞漏孔。此外气体示漏物质比液体示漏物质好，因为液体不只可能被吸附在漏孔内堵塞漏孔，而且还会对漏孔内部造成污染。 常用的示漏物质有：氢、二氧化碳、丁烷、丙酮、酒精等。
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