泄漏的危害性(上)

泄漏的危害性(上)
泄漏的大小、部位和泄漏的物质不同，设备或器件因功能不同。泄漏所带来的危害水平和危害表示也就不同。泄漏的危害性主要表示在以下几方面。
1破坏真空设备或真空器件的工作真空度
因此必需预先将真空设备和真空器件预抽到相应的或超声波检漏仪更高的真空度。一般真空设备自身带有抽气系统，真空设备和器件要求在一定的真空度下工作。设备工作时真空系统仍然对其抽气，微小的泄漏存在一般不会影响其工作真空度，但是比较严重的泄漏任然动平衡仪会破坏设备的平衡压力，干扰甚至破坏设备的正常工作。如：加速器真空度的破坏，将损失粒子的能量；镀膜机真空度地破坏，将影响膜层质量；对于电真空器件来说，制造过程中用相应的真空系统将它抽到一定的真空度后便将它密封，如果有器件有漏，器件中的压力将随时间上升，漏孔越大，器件中的压力上升得越快，由于电真空器件的体积一般很小，因此微小的漏孔也将很快使器件内的真空度破坏，使器件无法工作。

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